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| 直拉法生长的硅单晶中碳氧平衡 | |
| 引用本文： | 梁连科,樊占国.直拉法生长的硅单晶中碳氧平衡[J].稀有金属,1982(1). |
| 作者姓名： | 梁连科 樊占国 |
| 作者单位： | 东北工学院 (梁连科)，东北工学院(樊占国) |
| 摘 要： | 硅中碳和氧是重要的非金属杂质,它们对硅单晶的性质有着重要影响。硅中碳、氧浓度关系引起了国内外的重视。本文利用已有的研究成果,从物理化学的角度,进一步提出了硅中碳氧平衡模型,用实验证实了这一平衡的存在,并为降低和控制硅中碳、氧含量进行了实验研究。 |
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