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| 固体润滑剂MoS2溅射技术 | |
| 引用本文： | 赵滨海.固体润滑剂MoS2溅射技术[J].轴承,2002(2):31-33. |
| 作者姓名： | 赵滨海 |
| 作者单位： | 洛阳轴承研究所,河南洛阳,471039 |
| 摘 要： | 本文讨论目前应用广泛的溅射工艺,特别是应用于沉积MoS2、WS和PTFE固体润滑的溅射技术.溅射MoS2膜试验结果表明,固体润滑特性直接受选择的溅射参数(功率、密度、压力、溅射蚀刻、直流偏压等)和底材温度、表面化学性质、外形以及摩擦试验时环境条件的影响.电子显微镜和其他表面灵敏的分析手段表明,溅射MoS2膜的形态和化学性质的组合变化直接影响膜的结合强度和摩擦性质,薄的溅射润滑膜只有在选择了合适的溅射参数和被镀工件的材料时,才能可靠使用.附图1幅,参考文献2篇. |
| 关 键 词： | 轴承 润滑 固体润滑剂 二硫化铜 溅射 |
| 修稿时间： | 2001年8月14日 |
Sputtering Technique of MoS2 Solid Lubricant |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MoS2 |
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