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| YBa_2Cu_3O_（7－δ）高温超导薄膜微桥结在微波辐照下的响应特性 | |
| 作者姓名： | 刘兴钊 杨邦朝 胡继全 李言荣 |
| 作者单位： | 电子科技大学信息材料工程学院 |
| 摘 要： | 采用偏轴宜流磁控溅射原位生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δａ高温超导薄膜，以Ｈ３ＰＯ４为腐蚀液，采用化学湿刻工艺制作ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜微桥，微桥长１０μｍ，宽５μｍ，在８ｍｍ微波源的辐照下，除观察到整数常压台阶外，还观察到ｎ＝１／２，１／５，６／５，９／５等分数常压台阶，分数台阶的高度随微波功率的变化较整数台阶更敏感． |
| 关 键 词： | 高温超导，薄膜，微桥结，分数台阶 |
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