高精度单晶硅互换热敏电阻 |
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引用本文: | 李国华,付绮英,韦风辉,柳培立,吕红,张昭,王秀珍.高精度单晶硅互换热敏电阻[J].传感器与微系统,1987(Z1). |
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作者姓名: | 李国华 付绮英 韦风辉 柳培立 吕红 张昭 王秀珍 |
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作者单位: | 中科院新疆物理所
(李国华,付绮英,韦风辉,柳培立,吕红,张昭),中科院新疆物理所(王秀珍) |
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摘 要: | <正> 市售单晶硅通常都掺有一定数量的浅施主或浅受主杂质。由于这些杂质在禁带中引入的能级距带边很近(0.045eV),在常温下这些能级上的电子(或空穴)都已电离成为自由载流子。因此这种单晶硅的电阻率随温度的变化不大。但若在这种单晶硅中再掺入一定数量的
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