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高精度单晶硅互换热敏电阻
引用本文:李国华,付绮英,韦风辉,柳培立,吕红,张昭,王秀珍.高精度单晶硅互换热敏电阻[J].传感器与微系统,1987(Z1).
作者姓名:李国华  付绮英  韦风辉  柳培立  吕红  张昭  王秀珍
作者单位:中科院新疆物理所 (李国华,付绮英,韦风辉,柳培立,吕红,张昭),中科院新疆物理所(王秀珍)
摘    要:<正> 市售单晶硅通常都掺有一定数量的浅施主或浅受主杂质。由于这些杂质在禁带中引入的能级距带边很近(0.045eV),在常温下这些能级上的电子(或空穴)都已电离成为自由载流子。因此这种单晶硅的电阻率随温度的变化不大。但若在这种单晶硅中再掺入一定数量的

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