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| 用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究 | |
| 作者姓名： | 王晓晔 薛实福 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系 |
| 摘 要： | 应用有限元法对原子力显微镜(AFM)力传感器进行了力学分析,并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上,对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构,并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。 |
| 关 键 词： | 有限元法 原子力显微镜 力传感器 |
| 收稿时间： | 1997-07-21 |
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