| 微机械微带贴片天线研究 |
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| 引用本文： | 潘武,钟先信,巫正中. 微机械微带贴片天线研究[J]. 光学精密工程, 2001, 9(3): 247-251 |
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| 作者姓名： | 潘武 钟先信 巫正中 |
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| 作者单位： | 重庆大学微系统研究中心, |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目《集成微光机电系统研究》资助 项目编号 :G19990 3310 5 |
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| 摘 要： | 研究了以硅材料作基底的微机械微带贴片天线.采用微细加工技术,将金属导体贴片下方的硅基底背向刻蚀出一个空腔,形成硅材料和空气构成的混合结构,从而降低基底有效介电常数.对混合结构基底的等效介电常数、天线相关参数作了理论与实验比较.
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| 关 键 词： | 微机械 微带天线 硅 |
| 文章编号： | 1004-924(2001)03-0247-05 |
| 收稿时间： | 2001-03-14 |
| 修稿时间： | 2001-03-14 |
Study of micromachined microstrip patch antenna |
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| PAN Wu,ZHONG Xian xin,WU Zheng zhong. Study of micromachined microstrip patch antenna[J]. Optics and Precision Engineering, 2001, 9(3): 247-251 |
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| Authors: | PAN Wu ZHONG Xian xin WU Zheng zhong |
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| Affiliation: | Microsystem Research Center of Chongqing University, Chongqing, 400044, China |
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| Abstract: | The paper studies the silicon based micromachined microstrip patch antenna,and an air cavity fabricated by silicon micromachining. A mixed structure consisting of silicon and air cavity underneath the metal patch results in a low dielectric constant substrate. The equivalent dielectric constant of the mixed structure substrate and the relevant parameters of the antenna are studied. The calculated results are compared with the measured results. |
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| Keywords: | micromachines microstrip antennae silicon |
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