| 微区薄层电阻四探针测试仪及其应用 |
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| 引用本文： | 孙以材,刘新福,高振斌,孟庆浩,孙冰. 微区薄层电阻四探针测试仪及其应用[J]. 固体电子学研究与进展, 2002, 22(1): 93-93 |
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| 作者姓名： | 孙以材 刘新福 高振斌 孟庆浩 孙冰 |
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| 作者单位： | 河北工业大学电气信息学院,天津,300130;天津计量研究所,300192 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助课题 (批准号 692 72 0 0 1)，天津市自然科学基金项目(批准号 0 13 60 2 0 11)，河北省自然科学基金项目 (2 0 0 1年 ) |
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| 摘 要： | 用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 ,加快了计算速度
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| 关 键 词： | 微区薄层电阻 探针技术 改进范德堡法 |
| 文章编号： | 1000-3819(2002)01-093-07 |
| 修稿时间： | 2000-03-02 |
Four-probe Instrument for Measuring Sheet Resistance of Microareas and Its Application |
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| SUN Yicai LIU Xingfu GAO Zhenbin MENG Qinghao. Four-probe Instrument for Measuring Sheet Resistance of Microareas and Its Application[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 2002, 22(1): 93-93 |
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| Authors: | SUN Yicai LIU Xingfu GAO Zhenbin MENG Qinghao |
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| Abstract: | The sheet resistance of microareas can be obtained from a modified Van der Pauw formula by using an inclined four probe technique. The tip of probe is put at the corner of the microarea by inspection through a microscope. The condition for precise measurement is analyzed. This instrument has been used to measure the sheet resistance distribution for Boron diffusion chip. In the measuring process, a microprocessor was used to speed up the calculation. |
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| Keywords: | sheet resistance for microareas probe technique a modified Van der Pauw method |
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