| 面向MEMS微装配的夹持器的设计和实验研究 |
| |
| 引用本文： | 荣伟彬,谢晖,孙立宁,庄攀峰. 面向MEMS微装配的夹持器的设计和实验研究[J]. 机械设计与研究, 2005, 21(4): 30-32,36 |
| |
| 作者姓名： | 荣伟彬 谢晖 孙立宁 庄攀峰 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,机器人研究所,哈尔滨,150001 |
| |
| 基金项目： | 国防基础科研基金资助项目（K1401060130） |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种由PZT（压电陶瓷）驱动的用于MEMS微装配的微夹持器的设计，计算了夹持器本体的放大倍数和刚度,并用ANSYS仿真验证了数学计算的准确性,采用了基于视觉的标定方法，标定了微夹持器刚度、张合量、夹持力以及夹持力和张合量的关系。实验表明：夹持器张合量达280μm，夹持力达0．1N，可精确操作200～2000μm的微齿轮，实现了微行星齿轮减速器的装配。
|
| 关 键 词： | 压电陶瓷 MEMS微装配 微夹持器 标定 |
| 文章编号： | 1006-2343（2005）04-03003 |
| 收稿时间： | 2004-11-05 |
| 修稿时间： | 2004-11-05 |
Design of a Micro-gripper for MEMS Assembly and Its Experimental Research |
| |
| RONG Wei-bin,XIE Hui,Sun Li-ning,ZHUANG Pan-feng. Design of a Micro-gripper for MEMS Assembly and Its Experimental Research[J]. Machine Design and Research, 2005, 21(4): 30-32,36 |
| |
| Authors: | RONG Wei-bin XIE Hui Sun Li-ning ZHUANG Pan-feng |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | PTZ MEMS microassembly micro-gripper calibration |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
