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半导体器件失效分析研究
引用本文:
肖顺.半导体器件失效分析研究[J].军民两用技术与产品,2014(19).
作者姓名:
肖顺
作者单位:
长江大学物电学院物理11103班,荆州,434100
摘 要:
本文统计分析了引起半导体器件失效的一些主要原因,并对半导体器件失效检测法进行了归类,阐明了失效分析在提高半导体器件和电子产品质量与可靠性方面所发挥的重要作用。
关 键 词:
半导体器件
失效分析
失效原因
检测方法
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