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硅片的双面研磨法
引用本文：孙海林.硅片的双面研磨法[J].磨料磨具与磨削,1989(2):24-28,23.
作者姓名：孙海林
摘    要：
关 键 词：硅片  研磨  双面研磨法  薄膜技术
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