| SPC技术及应用 |
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| 引用本文： | 陈建国,周六辉. SPC技术及应用[J]. 微电子技术, 2003, 31(6): 55-57 |
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| 作者姓名： | 陈建国 周六辉 |
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| 作者单位： | 中国兵器工业第214研究所,蚌埠,233042 |
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| 摘 要： | 介绍了SPC《统计过程控制》技术的技术流程、应用软件和具体实施方法。详细叙述了SPC技术的核心工具控制图技术及其在微电路生产中的应用。
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| 关 键 词： | SPC技术 控制图 应用软件 统计过程控制 微电路生产 |
| 文章编号： | 1008-0147(2003)06-55-03 |
| 修稿时间： | 2002-11-28 |
SPC Technology and its Application |
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| CHEN Jian-guo,ZHOU Liu-hui. SPC Technology and its Application[J]. Microelectronic Technology, 2003, 31(6): 55-57 |
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| Authors: | CHEN Jian-guo ZHOU Liu-hui |
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| Abstract: | The technique flow, application software and particular implement measures of SPC technology are introduced in this paper. The control chart being core tool of SPC technology and its application in microcircuit manufacture are described in detail. |
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| Keywords: | SPC(Statistical Process Control) technology Control chart Application software |
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