| Ni81Fe19层厚度对自旋阀巨磁电阻性能的影响 |
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| 引用本文： | 曲炳郡,任天令,刘华瑞,刘理天,库万军,李志坚.Ni81Fe19层厚度对自旋阀巨磁电阻性能的影响[J].仪器仪表学报,2003,24(Z2):89-90. |
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| 作者姓名： | 曲炳郡 任天令 刘华瑞 刘理天 库万军 李志坚 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
2. 深圳市华夏磁电子公司,深圳,518081 |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射法,制备了一种上钉扎的标准自旋阀结构Ta(6nm)/Ni81Fe19/Co90Fe10(1nm)/Cu(1.8nm)/Co90Fe10(3.5nm)/Ir20Mn80(8nm)/Ta(6nm),并研究了自旋阀结构中Ni81Fe19层厚度对自旋阀巨磁电阻变化率的影响,发现巨磁电阻变化率对于Ni81Fe19层厚度具有强烈的依赖性.当Ni81Fe19层厚度位于2～6nm和7～12nm两个范围时,巨磁电阻变化率分别维持在较高(约8.34%)和较低(约3.34%)的两个水平,而当Ni81Fe19层厚度从6nm增加到7nm时,巨磁电阻变化率急剧降低,达5%.由此可见,为了得到高磁阻变化率,此类自旋阀结构中的Ni81Fe19层厚度不能超过6nm.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 标准自旋阀 巨磁电阻 Ni81Fe19 |
Influence of Ni81Fe19layer Thickness on the Giant Magnetoresistance for Conventional Spin Valves |
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