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| 平行平晶平面度测量结果的不确定度评定 | |
| 引用本文： | 于泓,孙鹏. 平行平晶平面度测量结果的不确定度评定[J]. 计量与测试技术, 2011, 0(8): 71-73 |
| 作者姓名： | 于泓 孙鹏 |
| 作者单位： | 牡丹江市质量技术监督检验检测中心; |
| 摘 要： | 本文依据JJG29-2000《平晶检定规程》,使用平面等厚干涉仪,对平行平晶平面度的不确定度进行了分析,给出了完整的不确定度评定过程,为平行平晶平面度校准提供了完善的不确定度评定方法。 |
| 关 键 词： | 平行平晶 平面度 不确定度 |
Evaluation of Uncertainty in Measurement of Flatness of Optical Flat |
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