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| 波导多层光卡的模压制作法 | |
| 引用本文： | 王仁洲,梁忠诚,顾敏芬.波导多层光卡的模压制作法[J].光电子．激光,2008,19(4):447-448. |
| 作者姓名： | 王仁洲 梁忠诚 顾敏芬 |
| 作者单位： | 1. 南京邮电大学数理学院,江苏,南京,210003;南京师范大学江苏省光电技术重点实验室,江苏,南京,210097 2. 南京邮电大学数理学院,江苏,南京,210003 3. 南京师范大学江苏省光电技术重点实验室,江苏,南京,210097 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 上海市科委资助项目 |
| 摘 要： | 提出了波导多层光卡的一种模压制作方法.该方法以聚碳酸脂(PC)作为芯层,聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为包层.首先通过传统的光刻过程制作带有信息的金属母板,然后用金属母板在PC表面压印信息坑,再在PC薄膜表面均匀地旋涂PDMS使之形成复合片,最后将多个复合片叠合在一起形成波导多层光卡.通过光源侧向耦合实验观察, 获得的光卡样品的数据图像清晰,表明这是一种可行的多层光卡制作方法. |
| 关 键 词： | 波导多层 光卡 模压法 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 波导多层光卡 模压 制作法 card multilayer waveguide method 图像清晰 数据 样品 实验观察 侧向耦合 光源 叠合 复合片 旋涂 表面均匀 薄膜 压印 金属 |
| 文章编号： | 1005-0086(2008)04-0447-02 |
| 修稿时间： | 2007年4月12日 |
A moulding method to fabricate the waveguide multilayer card |
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| WANG Ren-zhou,LIANG Zhong-cheng,GU Min-fen.A moulding method to fabricate the waveguide multilayer card[J].Journal of Optoelectronics·laser,2008,19(4):447-448. | |
| Authors: | WANG Ren-zhou LIANG Zhong-cheng GU Min-fen |
| Affiliation: | WANG Ren-zhou1,2,LIANG Zhong-cheng1,GU Min-fen2(1.College of Mathematics & Physics,Nanjing University of Posts & Telecommunications,Nanjing 210003,China,2.Jiangsu Key Lab of Optoelectronic Technology,Nanjing Normal University,Nanjing 210097,China) |
| Abstract: | A method to fabricate the multilayer optical card(WMOC)using the moulding technique is introduced in this paper.The struct of the WMOC is consisted with Polycarbonate(PC)as the core layer material and Polydimethylsiloxane(PDMS)as cladding layer.First,the traditional photolithography method is taken to make metal pattern.Then the information is translated from the mental pattern to a PC pattern,and the PDMS is coated onto the surface of PC to constitute a multi-pattern.When putting several multi-patterns tog... |
| Keywords: | waveguide multilayer optical card moulding fabrication method polydimethylsiloxane(PDMS) |
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