| Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜的制备、结构及性能研究 |
| |
| 引用本文： | 叶扬,丁爱丽,唐新桂,罗维根. Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜的制备、结构及性能研究[J]. 无机材料学报, 2002, 17(1): 125-130 |
| |
| 作者姓名： | 叶扬 丁爱丽 唐新桂 罗维根 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室，上海200050 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金重大项目（59995520），“863”计划重大课题（863－715－002－800） |
| |
| 摘 要： | 研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液，用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功制备出具有优良电学性能的Ba0.7Sr0.3TiO薄膜，乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳定性，并降低薄膜的结晶温度，利用XRD、DTA等技术分析了凝胶热处理过程中相变化情况及薄膜厚度与成相的关系，厚度2000nm,O2气氛中700℃处理15min后的BST薄膜具有良好的介电性能，100kHz时介电常数ε＞400，介电损耗D＜0．02，P－E电滞回线说明薄膜具有良好的铁电性能，剩余极化Pr约为1．4μC/cm^2，矫顽场强Ec约为48kV/cm.
|
| 关 键 词： | BST薄膜 溶胶－凝胶法 乙二醇 P－E电滞回线 制备 结构 性能 钛酸锶钡 铁电薄膜 |
| 文章编号： | 1000-324X(2002)01-0125-06 |
| 收稿时间： | 2001-01-12 |
| 修稿时间： | 2001-01-12 |
Preparation, Structure and Properties of Ba0.7Sr0.3TiO3 Thin Films |
| |
| YE Yang,DING Ai-Li,TANG Xin-Gui,LUO Wei-Gen. Preparation, Structure and Properties of Ba0.7Sr0.3TiO3 Thin Films[J]. Journal of Inorganic Materials, 2002, 17(1): 125-130 |
| |
| Authors: | YE Yang DING Ai-Li TANG Xin-Gui LUO Wei-Gen |
| |
| Affiliation: | LaboratoryofFunctionalInorganicMaterials;ShanghaiInstituteofCeramics;ChineseAcademyofSciences;Shanghai200050;China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | BST thin films sol-gel method ethylene glycol P-E hysteresis loop |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《无机材料学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《无机材料学报》下载全文 |
