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东芝公开在前工序封装MEMS元件的技术
摘 要:
东芝5月30日公开了2种在前工序封装MEMS元件的技术。所以因其可在晶圆级进行成批处理,可降低一直视为MEMS元件制作难题的封装成本。该公司还层积以此封装技术制成的MEMS元件和驱动器IC,试制出了0.8mm厚的多芯片封装(MCP)。该公司介绍,0.8mm厚的MCP为全球最薄。
关 键 词:
MEMS
封装成本
封装技术
元件
工序
东芝
驱动器IC
多芯片封装
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