| 挥发金属β-二酮化合物质量传输过程的试验研究 |
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| 引用本文： | 潘水艳,卓钺,杨盛良. 挥发金属β-二酮化合物质量传输过程的试验研究[J]. 冶金分析, 2004, 24(Z2): 584-586 |
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| 作者姓名： | 潘水艳 卓钺 杨盛良 |
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| 作者单位： | 国防科技大学材料工程与应用化学系,湖南,长沙,410073 |
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| 摘 要： | 为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了了相关温度下质量传输速度的有关数据.
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| 关 键 词： | 金属β-二酮化合物 乙酰丙酮铱 质量传输速率 |
| 文章编号： | 1000-7571(2004)增-0584-03 |
Experiment of mass - transfer processes of votile metal beta - diketonates |
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| PAN Shui-yan,ZHUO Yue,YANG Sheng-liang. Experiment of mass - transfer processes of votile metal beta - diketonates[J]. Metallurgical Analysis, 2004, 24(Z2): 584-586 |
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| Authors: | PAN Shui-yan ZHUO Yue YANG Sheng-liang |
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