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| 中子辐照和掺杂氢气氛FZ硅中氢施主研究 | |
| 引用本文： | 孟祥提,张秉忠,徐小琳.中子辐照和掺杂氢气氛FZ硅中氢施主研究[J].稀有金属,1984(4). |
| 作者姓名： | 孟祥提 张秉忠 徐小琳 |
| 作者单位： | 清华大学 (孟祥提，张秉忠)，清华大学(徐小琳) |
| 摘 要： | 本文给出了不同原始材料状况、不同中子辐照剂量对FZ(H_2)硅中氢施主产生的影响和经长时放置的中子掺杂FZ(H_2)硅的退火行为,提出了氢施主与缺陷直接相关的新证据;氢施主与中子辐照和掺杂CZ硅中的氧施主产生、退火以及表观浓度与中子剂量的关系很不相同;中子辐照高于某一剂量时,氢施子浓度趋于饱和。本文对实验结果进行了初步讨论。 |
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