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| GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析 | |
| 引用本文： | 郑敏,文玉梅,李平,肖庭富.GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析[J].微纳电子技术,2007(8). |
| 作者姓名： | 郑敏 文玉梅 李平 肖庭富 |
| 作者单位： | 重庆大学,光电工程学院,教育部光电技术及系统重点实验室,重庆,400030 重庆大学,光电工程学院,教育部光电技术及系统重点实验室,重庆,400030 重庆大学,光电工程学院,教育部光电技术及系统重点实验室,重庆,400030 重庆大学,光电工程学院,教育部光电技术及系统重点实验室,重庆,400030 |
| 摘 要： | 提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量.推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对传感器的静态特性进行了测试.分析表明该传感器为低通系统,截止频率约为14.34 Hz.实验验证了复合传感器的最高静态灵敏度可达到190 Hz/Oe. |
| 关 键 词： | 超磁致伸缩材料 声表面波 谐振器 磁传感器 |
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