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| 用Te,Sn双掺杂改善GaAs液相外延层载流子浓度纵向分布均匀性 | |
| 作者姓名： | 袁炳辉 杨瑞霞 |
| 作者单位： | 河北工学院 |
| 摘 要： | 探索用Ｔｅ，Ｓｎ双掺杂实现掺杂剂分布正负梯度互补改善杂质纵向分布均匀性的外延工艺，讨论了有关问题，报道了主要结果。 |
| 关 键 词： | 砷化镓 液相外延 载流子浓度 分布 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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