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| 氦质谱检漏仪用的嗅敏探枪法及特性 | |
| 引用本文： | 曹慎诚,金则庚,曹爱云.氦质谱检漏仪用的嗅敏探枪法及特性[J].真空科学与技术学报,1981(2). |
| 作者姓名： | 曹慎诚 金则庚 曹爱云 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所，兰州物理研究所，兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 本文对氦质谱检漏仪的嗅敏探枪法在大气中的分压灵敏度进行了理论计算并对加压容器上的模拟微小漏孔在大气中的泄漏情况进行了理论分析,实验证明呈准分子流状态。实测结果表明,当使用JLH—1或HZJ—1型氦质谱漏仪探测时,其有效最小可检漏率为10~(-7)托·升/秒;如果用ZLS—23型氦质谱检漏仪,可以算出其有效最小可检漏率为10~(-9)托·升/秒。同时还实测了移动式探测速度与灵敏度的关系。指出了上述方法检验大型容器的可能性。 |
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