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钛泵、分子泵机组在ЭГ-2.5MeV静电加速器中的应用
引用本文:宋桂芹,王玉振,唐秀坤,李健.钛泵、分子泵机组在ЭГ-2.5MeV静电加速器中的应用[J].真空,1985(6).
作者姓名:宋桂芹  王玉振  唐秀坤  李健
作者单位:中国原子能科学研究院 (宋桂芹,王玉振,唐秀坤),中国原子能科学研究院(李健)
摘    要:一、前言 近年来随着国内真空技术的发展,减少油蒸汽污染的抽气技术在原子能工业上的应用日趋广泛,尤其在加速器行业中该项技术的应用更有其重要的意义。ЭГ-2.5MeV静电加速器是我院一台运行多年的质子加速器,现已由原来的一条束流管道增为五条束流管道。中心管道全长为15m,直径约为φ460mm。在中心管道上装有二台偏转束流用的偏转磁铁,磁铁间隙为30mm。二台偏转磁铁引出四条束流管道,构成形如二架飞机串联的结构。为了提高系统的真空度,减少系统中碳氢化合物对样品的污染,取消了原真空束流管道系统中的扩散泵排气机组。采用钛泵、分子泵…

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