| 磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能 |
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| 引用本文： | 刘培,王振玉,柯培玲,李晓伟,吴晓春,汪爱英.磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能[J].中国表面工程,2016,29(1):64-72. |
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| 作者姓名： | 刘培 王振玉 柯培玲 李晓伟 吴晓春 汪爱英 |
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| 作者单位： | 1.上海大学 材料科学与工程学院, 上海200072； 2.中国科学院宁波材料技术与工程研究所 a. 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室， b. 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室， 浙江 宁波 315201 |
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| 摘 要： | Cr_2AlC属于三元层状化合物MAX相,其兼具金属和陶瓷的综合性能,如金属的导热、导电、可加工性,陶瓷的抗氧化、耐腐蚀等性能。利用直流磁控溅射技术和后续退火工艺在高速钢基体上制备了Cr_2AlC涂层,采用XRD、SEM等研究了气体流量及热处理工艺对涂层成分和物相组成的影响。结果表明:气体流量和退火温度对Cr_2AlC相的形成至关重要,气体流量比过大和退火温度过高均不利于Cr_2AlC的形成。不同气体流量下沉积态涂层主要由Cr-C化合物、非晶或者纳米晶等组成,均没有发现Cr_2AlC相;涂层经750℃退火后不同气体流量比涂层均有一定量Cr_2AlC相形成;且Cr_2AlC相形成的温度范围随CH_4/Ar气体流量比增加而变窄。含Cr_2AlC MAX相涂层的硬度为10.6~17.6GPa,弹性模量为255.3~323.4GPa。
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| 关 键 词： | 直流磁控溅射 Cr2AlC涂层 高温退火 力学性能 相结构 |
Mechanical Properties of Cr2AlC Coatings Prepared by DC Magnetron Sputtering and Heat Treatment |
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| LIU Pei,WANG Zhenyu,KE Peiling,LI Xiaowei,WU Xiaochun,WANG Aiying.Mechanical Properties of Cr2AlC Coatings Prepared by DC Magnetron Sputtering and Heat Treatment[J].China Surface Engineering,2016,29(1):64-72. |
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| Authors: | LIU Pei WANG Zhenyu KE Peiling LI Xiaowei WU Xiaochun WANG Aiying |
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| Affiliation: | 1. School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072; 2a.Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, 2b.Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, Zhejiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DC magnetron sputtering Cr2AlC coating annealing mechanical properties phase structure |
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