| 基于数据挖掘的制造过程合格率管理体系研究 |
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| 引用本文： | 齐二石,聂斌,简祯富. 基于数据挖掘的制造过程合格率管理体系研究[J]. 工业工程, 2005, 8(3): 64-68 |
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| 作者姓名： | 齐二石 聂斌 简祯富 |
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| 作者单位： | 天津大学,管理学院,天津,300072;台湾清华大学,工业工程与工程管理学系,台湾 |
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| 摘 要： | 在半导体自动化制造过程中产生大量的数据，为应用数据挖掘技术进行有效的过程监控提供了条件。提出在运用数据挖掘技术中聚类分析方法的基础上，对不合格批产品的加工路径进行分析，从而准确地将控制对象定位于某些问题设备，并结合统计过程控制的手段加强监控。
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| 关 键 词： | 数据挖掘 合格率管理 聚类分析 关键路线 统计过程控制 |
| 文章编号： | 1007-7375(2005)03-0064-05 |
| 修稿时间： | 2003-12-12 |
Study on Yield Management System of Semiconductor Manufacturing Process Based on Data Mining |
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| QI Er-shi,NIE Bin,CHIEN Chen-Fu. Study on Yield Management System of Semiconductor Manufacturing Process Based on Data Mining[J]. Industrial Engineering Journal, 2005, 8(3): 64-68 |
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| Authors: | QI Er-shi NIE Bin CHIEN Chen-Fu |
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| Affiliation: | QI Er-shi~1,NIE Bin~1,CHIEN Chen-Fu~2 |
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| Abstract: | Data Mining technology can extract valuable information and knowledge from an increasing number of raw data. A lot of data are available during semiconductor manufacturing process, which can possibly be analyzed by data mining technologies. This article introduce a yield control system based on data mining and critical path analysis. Statistical process control is applied to critical equipment. |
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| Keywords: | data mining yield management clustering analysis critical path statistical process control |
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