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| 类金刚石膜的电阻率及光吸收特性研究 | |
| 作者姓名： | 程世昌 傅德君 吴周桥 张维琴 |
| 作者单位： | 武汉大学物理系离子束物理研究室(程世昌，傅德君，吴周桥)，武汉大学物理系离子束物理研究室(张维琴) |
| 摘 要： | 一、引言类金刚石非晶碳膜具有硬度大、化学稳定、绝缘强度高、对红外光透明等优良特性,得到广泛的应用。人们使用等离子体、离子束和激光束等多种方法制备了类金刚石非晶碳膜。近年来人们对在电子器件方面的应用,特别是作为半导体材料的研究尤为 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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