用PCVD法在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AIN薄膜的研究

采用等离子体化学气相沉积(PCVD)技术，以AlCl3作铝源在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AlN薄膜，探讨了不同沉积时间和温度对薄膜硬度的影响，并对AlN薄膜的耐蚀性进行了研究。试验结果表明，经500～550℃沉积4h，可以在不锈钢表面得到组织致密的AlN薄膜，其显微硬度最高可达1750HV0．025，在HCl溶液中的耐蚀性超过未镀膜的1Cr18Ni9不锈钢。