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钛薄膜氢化及热释放特性研究
引用本文:施立群,周筑颖,赵国庆.钛薄膜氢化及热释放特性研究[J].原子能科学技术,2000,34(4):328-333.
作者姓名:施立群  周筑颖  赵国庆
作者单位:复旦大学,现代物理研究所,上海,200433
摘    要:用高能离子非卢瑟福背散射分析和前向反冲分析方法研究了C、O污染对Ti膜的吸放氢能力的影响。实验观测到,1.26*10^16cm^-2和2.6*10^16cm^-2O的双重污染可使Ti膜在300nm的范围内存在着低的H浓度区,使氢的热释放温度大大提高。

关 键 词:氢化  热释放  离子束分析  钛薄膜  吸氢  放氢
修稿时间:1999-05-24

Hydrogenation And Thermal Release of Hydrogen in Titanium Thin Films
SHI Li-qun,ZHOU Zhu-ying,ZHAO Guo-qing.Hydrogenation And Thermal Release of Hydrogen in Titanium Thin Films[J].Atomic Energy Science and Technology,2000,34(4):328-333.
Authors:SHI Li-qun  ZHOU Zhu-ying  ZHAO Guo-qing
Abstract:
Keywords:hydrogenation of Ti  thermal release  ion beam analysis
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