恒光强调节系统和积分曝光控制系统的一般研究

本文着重讨论了超高压汞灯的光谱衰退特性和在不同光谱线和不同光强的条件下,两种光刻胶的曝光特性。并研讨了恒光强调节系统和积分曝光控制系统的曝光控制精度。对上述两种曝光控制系统作者分别提出了改进曝光控制精度的技术措施。