超声抛光实验平台综合误差建模及补偿方法研究

为了提高光学复杂曲面的加工精度和加工效率,在实验室搭建的五轴超声抛光实验平台基础之上,采用多体系统理论建立了5轴抛光实验平台的运动学正反解模型和综合误差运动模型并提出一种新的误差补偿方法。利用已测得的各轴几何误差数据,对x轴、y轴联动时的综合误差变化规律和主要影响因素进行分析,运用新提出的误差补偿方法,对综合误差进行误差补偿,补偿效果显著,仿真实验验证了补偿方法的有效性。