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| 用激光刻蚀法在金刚石膜表面形成减反射微结构 | |
| 作者姓名： | 白光 咏涛 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 引言 金刚石具有一系列独特的性质 :宽光谱区透明、硬度、耐磨性、化学惰性和高激光损伤阈值。由于气相沉积多晶金刚石膜工业工艺的发展 ,它有了广泛应用 ,其中包括作为制造光学元件的材料[1 ] 。金刚石有较高的折射率 ,由于反射损耗 ,金刚石板在 10 .6 μm波长的透射率不大于 71% ,因此研究金刚石膜增透课题具有特殊的迫切性。一般的薄膜式减反涂层在性能上逊于金刚石 ,不能充分利用金刚石板的独特性质。没有这种缺点的可供选择的方法是在金刚石膜表面形成起伏的周期性亚波长结构。人们知道 ,周期小于Λmax=λ/ n (式中λ为入射辐射的波… |
| 关 键 词： | 激光刻蚀法 金刚石膜 减反射微结构 |
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