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| 扫描探针显微镜的最新技术进展及应用 | |
| 引用本文： | 赵清亮,王景贺,李旦,董申.扫描探针显微镜的最新技术进展及应用[J].传感技术学报,1999,12(4):321-326. |
| 作者姓名： | 赵清亮 王景贺 李旦 董申 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学精密工程研究所!426信箱 哈尔滨 150001，哈尔滨工业大学精密工程研究所!426信箱 哈尔滨 150001，哈尔滨工业大学精密工程研究所!426信箱 哈尔滨 150001，哈尔滨工业大学精密工程研究所!426信箱，哈尔滨 150001 |
| 摘 要： | 本文在讨论了ＳＰＭ基本原理和应用的基础上，详细介绍了近期ＳＰＭ的最新技术进展和成像模式以及拓展的应用领域，使我们能对ＳＰＭ有一个全新的认识和了解，以便它们更好地应用到研究领域中。 |
| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 表面探测 成像原理 |
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