| 碳化硅衬底超精密加工技术 |
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| 引用本文： | 袁铁军,张红蕾,张广冬. 碳化硅衬底超精密加工技术[J]. 现代制造工程, 2012, 0(7): 26-29,39 |
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| 作者姓名： | 袁铁军 张红蕾 张广冬 |
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| 作者单位： | 盐城工学院机械学院,盐城,224051 |
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| 基金项目： | 江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金 |
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| 摘 要： | 通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合;磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削;抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质量,从而获得超光滑表面。分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势。
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| 关 键 词： | 多线切割 双面研磨 ELID磨削 化学机械抛光 超光滑表面 |
Ultra-precision machining technology of silicon carbide substrates |
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| Yuan Tiejun , Zhang Honglei , Zhang Guangdong. Ultra-precision machining technology of silicon carbide substrates[J]. Modern Manufacturing Engineering, 2012, 0(7): 26-29,39 |
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| Authors: | Yuan Tiejun Zhang Honglei Zhang Guangdong |
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| Affiliation: | (School of Mechanical Engineering,Yancheng Institute of Technology,Yancheng 224051,Jiangsu,China) |
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