| 应用条纹投影法测量薄膜反射镜的成形 |
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| 引用本文： | 张鹏,张元,金光,钟兴,张雷,姚劲松.应用条纹投影法测量薄膜反射镜的成形[J].光学精密工程,2011,19(6):1185-1191. |
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| 作者姓名： | 张鹏 张元 金光 钟兴 张雷 姚劲松 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033;中国科学院研究生院，北京100039
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA12Z113) |
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| 摘 要： | 针对国内外现有薄膜反射镜面形检测方法存在动态测量不便,测量面形单一等问题,提出了基于正弦条纹投影的反射镜面形测量方法.基于此方法搭建了测量平台,分析推导显示,该方法的测量不确定度＜0.385 μm,该平台的测量不确定度＜4.25 μm.在此平台上对标准球面镜进行了测量,验证了此平台的适用性.最后,对优化控制下的Ф300...
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| 关 键 词： | 薄膜反射镜 面形测量 正弦条纹投影 优化控制 |
Measurement of space membrane mirror shaping based on fringe projection |
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| ZHANG Peng,ZHANG Yuan,JIN Guang,ZHONG Xing,ZHANG Lei,YAO Jin-song.Measurement of space membrane mirror shaping based on fringe projection[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(6):1185-1191. |
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| Authors: | ZHANG Peng ZHANG Yuan JIN Guang ZHONG Xing ZHANG Lei YAO Jin-song |
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| Affiliation: | ZHANG Peng1,2,ZHANG Yuan1,JIN Guang1,ZHONG Xing1,ZHANG Lei1,YAO Jin-song1(1.Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China,2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | membrane mirror figure measurement sinusoidal fringe projection optimization control |
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