摘 要: | 为了减少单晶硅太阳电池的光学损失,需在硅片表面制备大小合适且分布均匀致密的金字塔结构。基于此目的,在一步制绒基础上开发出两步制绒工艺,即原硅片依次经过两个化学溶液配比不同、反应时间不同的制绒槽。第1个槽药液浓度较高,化学反应速率较快,金字塔能够快速成核生长;第2个槽药液浓度较低,化学反应速率较慢,从而获得结构独立且均匀性较好的金字塔。实验表明:第1个槽的最佳反应时间在250~300 s,第2个槽的最佳反应时间在100~130 s。相对于一步制绒工艺,两步制绒工艺形成的硅片表面反射率降低0.5%,增加了表面对光的吸收,可使太阳电池获得更高的光电转换效率。
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