| 高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究 |
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| 引用本文： | 佘东生,王晓东,张习文,王立鼎. 高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究[J]. 仪器仪表学报, 2010, 31(11) |
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| 作者姓名： | 佘东生 王晓东 张习文 王立鼎 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目，辽宁省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。
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| 关 键 词： | MEMS测试 动态特性的测试 高温环境 微悬臂梁 激励装置 |
Dynamic test technique of micro-cantilever temperature characteristic in high temperature environment |
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| She Dongsheng,Wang Xiaodong,Zhang Xiwen,Wang Liding. Dynamic test technique of micro-cantilever temperature characteristic in high temperature environment[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2010, 31(11) |
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| Authors: | She Dongsheng Wang Xiaodong Zhang Xiwen Wang Liding |
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