低热辐射紫外固化系统光学薄膜

紫外光固化技术是一种快速、高效、环保的固化方法,得到了广泛应用。本文分析了低热辐射紫外固化光学系统中紫外石英冷光镜及石英热镜的特征光谱要求,研究采用Ta₂O₅及SiO₂两种镀膜材料,分别设计了紫外反射长波通膜系石英冷光镜及透射紫外光短波通膜系石英热镜。通过等效折射率方法构造两种材料对称周期膜系结构,设计了一种消除次级反射短波通热镜膜系。石英紫外反射镜及热镜组合结构具备紫外波段高反射同时,可滤除近红外光,实现低温下紫外固化。