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杂志ISSN号
国外空气洁净技术发展的若干现状
作者姓名:
范存养 徐文华
作者单位:
同济大学
摘 要:
本仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心,介绍了国外在分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面,在近几年中的技术进展。
关 键 词:
微电子工业 空气洁净技术 分子态污染物质 微环境控制 节能 现状 喷水室处理新风 化学污染过滤器 硼污染
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