| MEMS微致动器的研究 |
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| 引用本文： | 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川.MEMS微致动器的研究[J].微纳电子技术,2004,41(9):32-36. |
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| 作者姓名： | 谌贵辉 张万里 彭斌 蒋洪川 |
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| 作者单位： | 1. 西昌学院物理系,四川,西昌,615022;电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
2. 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 微细加工光学技术国家重点实验室研究基金资助 |
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| 摘 要： | MEMS技术在未来的发展中有着重要的意义。本文介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微泵为例,详细比较了致动器的执行机制和原理。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微致动器 微泵 |
| 文章编号： | 1671-4776(2004)09-0032-05 |
| 修稿时间： | 2004年3月18日 |
Study of MEMS microactuators |
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| CHEN Gui-hui,ZHANG Wan-li,PENG Bin,JIANG Hong-chuan.Study of MEMS microactuators[J].Micronanoelectronic Technology,2004,41(9):32-36. |
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| Authors: | CHEN Gui-hui ZHANG Wan-li PENG Bin JIANG Hong-chuan |
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| Affiliation: | CHEN Gui-hui1,2,ZHANG Wan-li2,PENG Bin2,JIANG Hong-chuan2 |
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| Abstract: | Important significance of the technology of microelectronics mechanical systems(MEMS)is existed in the future development. The characteristic of MEMS micro actuators and all kinds of activate patterns are introduced. Taking micro pump for example,perform patterns and principle of microactuators are compared in delails. |
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| Keywords: | MEMS microactuators micro pump |
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