只有竖条扫描图象的维修

本文介绍当发生只显示宽狭不等的竖条扫描图象,竖条宽度能随倍率而变、但看不到正常样品形貌象的故障原因和排除方法。一、概述:众所周知、扫描电镜的光栅图象是由水平(x)和垂直(y)方向的锯齿波组合而成。由于镜筒内电子束在偏转线圈作用下对样品表面的扫描、与显示系统的偏转扫描来自同一信号源,两者严格同步才使人们观察到样品被扫区域的二次电子形貌象。当加于镜筒内的水平扫描信号失去时,仅接收到垂直方向一条线的区域(而不是面)内的二次电子信息。可是显示系统仍是X、Y两个信号的组合,这样,只有垂直方向的样品信息被展开在整个光栅面上显示,成为竖方向的条条(见图1)。随样品表面高低起伏的密度不同,竖条的粗细及密度也不同,并随着倍率的提高,竖条的宽度增大。