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| 电子束蒸镀纳米TiO_2薄膜结构、相组成及亲水性研究 | |
| 引用本文： | 李同彩,郭宝刚,李同洪,温才,陈伟.电子束蒸镀纳米TiO_2薄膜结构、相组成及亲水性研究[J].功能材料,2015(13). |
| 作者姓名： | 李同彩 郭宝刚 李同洪 温才 陈伟 |
| 作者单位： | 1. 西南科技大学 理学院,四川 绵阳,621010 2. 西南科技大学 分析测试中心,四川 绵阳,621010 3. 国家金刚石工具质量监督检验中心,湖北 鄂州,436000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，四川省大学生创新创业训练计划资助项目，西南科技大学实验室开放基金资助项目 |
| 摘 要： | 利用电子束蒸镀技术在石英玻璃和单晶Si〈100〉上制备了纳米TiO2薄膜,研究了衬底温度和退火温度对其结构、相组成和亲水性能的影响。结果表明,衬底温度为40~240℃时,石英玻璃上制备的薄膜为无定型TiO2,单晶Si〈100〉上制备的薄膜为弱结晶性的金红石TiO2,两类薄膜的亲水性均很差。退火温度显著影响薄膜的相组成及亲水性能。石英玻璃上不同衬底温度制备的TiO2薄膜经550,650℃退火后均转变为锐钛矿TiO2,具有很好的亲水性能。单晶Si〈100〉上不同衬底温度制备的TiO2薄膜经550~950℃退火后,均由金红石和锐钛矿TiO2混晶组成,且随退火温度升高,薄膜中锐钛矿TiO2含量逐渐增加;随退火温度升高,衬底温度为40℃时制备的TiO2薄膜的亲水性能逐渐降低,而衬底温度为240℃时制备的TiO2薄膜的亲水性能逐渐增强。 |
| 关 键 词： | TiO2 电子束蒸镀 结构 相组成 亲水性 |
Microstructure,phase composition and hydrophilic properties of nano TiO2 film prepared by electron beam evaporation |
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| LI Tongcai,GUO Baogang,LI Tonghong,WEN Cai,CHEN Wei.Microstructure,phase composition and hydrophilic properties of nano TiO2 film prepared by electron beam evaporation[J].Journal of Functional Materials,2015(13). | |
| Authors: | LI Tongcai GUO Baogang LI Tonghong WEN Cai CHEN Wei |
| Abstract: | |
| Keywords: | TiO2 electron beam evaporation microstructure phase composition hydrophilic properties |
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