热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性 |
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引用本文: | 李胜华,张志明,李辉只,庄志诚,丁正明.热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性[J].微细加工技术,1990(Z1). |
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作者姓名: | 李胜华 张志明 李辉只 庄志诚 丁正明 |
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作者单位: | 上海交通大学
(李胜华,张志明,李辉只,庄志诚),上海交通大学(丁正明) |
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基金项目: | 国家高科技和上海市自然科学基金 |
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摘 要: | 本文研究了热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性,在结晶过程中金刚石的(111)、(100)和(110)三个晶面经过激烈竞争后均有显露,通常情况下(111)和(100)二个晶面发育得较完整,相继显露的几率也最大。
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