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| 磁流变抛光中表面彗尾状缺陷的生成与演变行为 | |
| 引用本文： | 袁胜豪,张云飞,余家欣,李凯隆,王超,田东,海阔,黄文.磁流变抛光中表面彗尾状缺陷的生成与演变行为[J].光学精密工程,2021(4):740-748. |
| 作者姓名： | 袁胜豪 张云飞 余家欣 李凯隆 王超 田东 海阔 黄文 |
| 摘 要： | 为了研究磁流变抛光后元件表面"彗尾状缺陷"的生成和演变机理,本文以石英玻璃为样品,分析了磁流变抛光时抛光液中抛光颗粒浓度与水分含量对彗尾状缺陷的影响.研究表明,彗尾状缺陷的生成与元件表面存在的原始缺陷相关,抛光颗粒在缺陷处的堆积是造成原始缺陷转变成彗尾状缺陷的主要原因.随着抛光颗粒浓度的增加,抛光颗粒在原始缺陷处的堆积... |
| 关 键 词： | 光学加工 磁流变抛光 彗尾缺陷 堆积效应 石英玻璃 |
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