|
|||||
|
|
| 基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤检测 | |
| 作者姓名： | 白倩 马浩 殷景飞 |
| 作者单位： | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024;南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国博士后科学基金特别资助项目 |
| 摘 要： | 石英玻璃在研磨过程中会不可避免地产生亚表面损伤,对石英玻璃亚表面损伤的检测一直是石英玻璃加工工艺优化中的热点.本文结合偏振激光散射法及激光散射共聚焦法,提出了基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤的无损检测方法.搭建无损检测系统,对采用不同金刚石研磨液研磨的石英玻璃亚表面损伤进行检测,并采用横截面显微有损检测法对同... |
| 关 键 词： | 共聚焦成像 亚表面损伤 偏振激光散射 横截面显微法 石英玻璃 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |