高分辨率CCD光电尺寸自动检测仪的研究

本文介绍了一种运用电荷耦合器件（线阵ＣＣＤ）作为光电信息转换器件的高分辨率光电尺寸自动检测仪的基本工作原理，并通过实验验证了仪器的诸多优点。