| Si基微环谐振腔化学传感检测方法研究 |
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| 引用本文： | 雷龙海,唐军,张天恩,郭浩,刘俊. Si基微环谐振腔化学传感检测方法研究[J]. 传感器与微系统, 2015, 0(10). DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)10-0032-03 |
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| 作者姓名： | 雷龙海 唐军 张天恩 郭浩 刘俊 |
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| 作者单位： | 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原030051; 中北大学 电子测试技术国家重点实验室，山西 太原030051 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划资助项目，国家杰出青年科学基金资助项目，国家自然科学基金资助项目，山西省优秀青年学术带头人资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种非标记光化学传感检测方法：光波导谐振谱检测，通过感应环形波导表面有效折射率变化进行化学传感；理论分析，并结合光学测试系统，利用此方法实现了微环谐振腔结构对NaCl离子、结晶紫分子溶液的在线浓度测量，实验得到：其检测灵敏度分别达181.47 pm/10－2，227 nm/（ mol·L－1），证明了该方法可以应用于化学溶液检测领域。
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| 关 键 词： | 光波导谐振谱 微环谐振腔 化学传感器 非标记检测 |
Study on chemical sensing detection method for Si-based micro-ring resonator |
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| Abstract: | A label-free optical waveguide resonance spectroscopy chemical sensing detection method via inducing the change of effective refractive index of the surface of waveguide based on micro-ring resonator is presented. Through theoretical analysis and optical test system,using this method realizes measurement of the concentration of NaCl and crystal violet solution. The detection sensitivity of 181. 47 pm/10-2 and 227 nm/( mol·L-1 ),respectively, are achieved experimentally,which proves this method can be applied in the field of chemical solution detection. |
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| Keywords: | optical waveguide resonance spectroscopy micro-ring resonator chemical sensor label-free detec-tion |
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