| 离子束辅助沉积Fe－N薄膜的相形成 |
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| 引用本文： | 江海,武庆兰,陶琨,李恒德.离子束辅助沉积Fe－N薄膜的相形成[J].金属学报,1994,30(18):273-276. |
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| 作者姓名： | 江海 武庆兰 陶琨 李恒德 |
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| 作者单位： | 清华大学 |
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| 摘 要： | 用离子束辅助沉积方法合成Ｆｅ－Ｎ薄膜，用离子束背散射和Ｘ射线衍射方法分析薄膜成分和结构．结果表明，薄膜的组分（α－Ｆｅ，ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－Ｆｅ（２－３）Ｎ，γ＇－Ｆｅ４Ｎ相等）取决于沉积参数。给出了沉积温度和Ｎ／Ｆｅ原子到达比组成的相区域图．
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| 关 键 词： | 氮化铁，离子束辅助沉积，磁性薄膜 |
FORMATION OF IRON NITRIDE FILMS BY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION |
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| JIANG Hai,WU Qinglan,TAO kun,LI Hengde.FORMATION OF IRON NITRIDE FILMS BY ION BEAM ASSISTED DEPOSITION[J].Acta Metallurgica Sinica,1994,30(18):273-276. |
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| Authors: | JIANG Hai WU Qinglan TAO kun LI Hengde |
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| Affiliation: | JIANG Hai,WU Qinglan,TAO kun,LI Hengde(Tsinghua University,Beijing) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion beam assisted deposition iron nitride magnetic film |
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