微流量泵与微流量传感器的系统集成 |
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引用本文: | 庞江涛 战长青. 微流量泵与微流量传感器的系统集成[J]. 功能材料与器件学报, 1998, 4(2): 101-104 |
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作者姓名: | 庞江涛 战长青 |
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作者单位: | 清华大学微电子学研究所 |
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摘 要: | 介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法,该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点,在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器,使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能,为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。
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关 键 词: | 微流量泵 微流量传感器 系统集成 微机械 |
INTEGRATION OF MICROPUMP AND MICROFLOW SENSOR |
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Abstract: | |
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Keywords: | Micropump Driving structure Microflow sensor Integrated system |
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