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日立开发出CMOS兼容的MEMS传感器工艺
作者姓名:Kenji  Tsuda
摘    要:日立中心研究实验室(东京)的研究人员宣布,他们已经开发出了与CMOS兼容的MEMS加工技术,可以在CMOS芯片的互连层上制造MEMS传感器。

关 键 词:MEMS传感器  CMOS兼容  开发  日立  MEMS加工技术  工艺  CMOS芯片  研究人员
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