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CVD金刚石薄膜紫外光探测器研究
引用本文:肖金龙.CVD金刚石薄膜紫外光探测器研究[J].光电子技术,2001,21(2):116-119.
作者姓名:肖金龙
作者单位:重庆大学应用物理系,
基金项目:国家自然科学基金资助项目 (No.1 990 4 0 1 6)
摘    要:金刚石薄膜紫外光探测器对紫外光有较高的灵敏度和良好的开关特性。本文讨论了该器件的光电流随入射光波长的变化和开关时间响应。实验证明,金刚石薄膜是一种良好的紫外光探测材料。

关 键 词:CVD  金刚石薄膜  紫外光  光探测
文章编号:1005-488X(2001)02-0116-04
修稿时间:2000年12月11

Study on UV Photodetectors of CVD Diamond Films
Xiao,Jinlong.Study on UV Photodetectors of CVD Diamond Films[J].Optoelectronic Technology,2001,21(2):116-119.
Authors:Xiao  Jinlong
Abstract:UV photodetectors of CVD diamond have a good sensitivity alongside with switching speeds that are fast enough to be used in the detection of ultraviolet ray(UV). In this paper, the variation of the photo current with illumination wavelength and switching time response are discussed. Experimental results show that the CVD diamond films are useful materials for UV detection.
Keywords:CVD    diamond    UV    photodetectors
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