高性能低烧MLC三层镀工艺研究:Ⅱ.振动电镀 |
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引用本文: | 曾智强,陈万平.高性能低烧MLC三层镀工艺研究:Ⅱ.振动电镀[J].上海微电子技术和应用,1997(4):22-25. |
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作者姓名: | 曾智强 陈万平 |
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摘 要: | 本文探讨了PMN系多层陶瓷电容器的振动三层镀工艺。分析了工艺参数对MLC电性能的影响,表明振动电镀对MLC的电容量影响不明显,而使MLC绝缘电阻降低,介质损耗增大;和镀Sn相比,镀Ni过程对MLC的性能影响较大。
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关 键 词: | MLC 制造工艺 表面安装技术 陶瓷电容器 |
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